Microelectromechanical Systems

Microelectromechanical Systems pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

出版者:National Academies Press
作者:Committee on Advanced Materials and Fabrication Methods for Microelectromechanical Systems
出品人:
页数:0
译者:
出版时间:2000-01-01
价格:USD 26.00
装帧:Paperback
isbn号码:9780309059800
丛书系列:
图书标签:
  • MEMS
  • 微机电系统
  • 传感器
  • 执行器
  • 微纳技术
  • 集成电路
  • 材料科学
  • 建模仿真
  • MEMS设计
  • 微电子
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具体描述

Microelectromenchanical systems (MEMS) is a revolutionary field that adapts for new uses a technology already optimized to accomplish a specific set of objectives. The silicon-based integrated circuits process is so highly refined it can produce millions of electrical elements on a single chip and define their critical dimensions to tolerances of 100-billionths of a meter. The MEMS revolution harnesses the integrated circuitry know-how to build working microsystems from micromechanical and microelectronic elements. MEMS is a multidisciplinary field involving challenges and opportunites for electrical, mechanical, chemical, and biomedical engineering as well as physics, biology, and chemistry. As MEMS begin to permeate more and more industrial procedures, society as a whole will be strongly affected because MEMS provide a new design technology that could rival--perhaps surpass--the societal impact of integrated circuits.

《微纳制造与传感器技术》 本书深入探讨了微机电系统(MEMS)制造领域最前沿的技术和关键原理,但重点不放在MEMS的特定应用层面,而是聚焦于支撑这些应用得以实现的微纳加工工艺、材料科学以及传感器设计与集成。我们将从基础的微纳加工技术出发,逐步剖析各种先进的制造方法,如光刻、蚀刻、薄膜沉积、键合等,并详细介绍其在微结构和微器件构建中的作用。 在材料科学方面,本书将聚焦于与微纳制造紧密相关的各类先进材料,包括但不限于硅及其衍生物、聚合物、金属薄膜、压电材料、铁电材料等。我们将深入研究这些材料的微观结构、物理化学性质,以及它们在不同加工过程中的表现和对最终器件性能的影响。例如,会详细阐述硅的晶体结构、各向异性蚀刻特性,以及聚合物材料在微流控芯片和生物传感器中的应用潜力,包括其力学性能、生物相容性以及加工易用性。 本书的核心章节将围绕传感器技术展开。我们将全面介绍各类微纳传感器的基本工作原理,涵盖了电学、光学、力学、化学、生物等多种传感机制。例如,在压力传感方面,会详细解析压阻效应、电容效应在微压力传感器中的应用;在温度传感方面,会讨论热电效应、电阻温度变化在微温度传感器中的实现;在光学传感方面,则会深入研究光衍射、光折变等现象如何用于构建微光学传感器。此外,对于化学和生物传感器,本书将重点介绍其在分子识别、生物标记物检测方面的原理,包括表面修饰、生物受体固定以及信号放大等关键技术。 本书的另一重要组成部分是传感器与微加工的集成设计。我们将探讨如何将微纳制造的优势与传感器的工作原理相结合,实现高度集成化的微系统。这包括模块化设计、多层结构构建、以及不同功能单元之间的电气和物理连接。例如,会分析如何将微流控通道与检测单元集成,实现样本的精确输送和分析;如何将微执行器与微传感器协同工作,构建具有反馈控制能力的微机电系统。 在内容深度上,本书力求详实。对于每种加工技术,都会提供其原理、工艺流程、优缺点以及在微纳制造中的应用实例。在传感器部分,不仅会介绍宏观的传感器类型,更会深入到传感器内部的微观结构和工作原理,以及影响其灵敏度、选择性、响应速度和稳定性的关键因素。本书还将包含一些最新的研究进展和发展趋势,例如软微纳制造、3D微纳打印技术在传感器领域的应用,以及智能传感器网络的构建等。 通过对这些核心内容的深入剖析,《微纳制造与传感器技术》旨在为读者提供一个坚实的理论基础和清晰的实践指导,帮助他们理解微纳加工如何赋予材料新的特性,以及如何利用这些特性设计和制造出性能优越、功能强大的各类微纳传感器。本书适合对微纳技术、传感器原理、材料科学以及精密制造有浓厚兴趣的研究人员、工程师和高年级本科生。

作者简介

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读后感

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用户评价

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对于任何希望在MEMS领域有所建树的人来说,《Microelectromechanical Systems》这本书都堪称一本宝典。它不仅仅是一本技术书籍,更是一份对该领域发展脉络的深刻洞察。作者在梳理MEMS技术的同时,也巧妙地融入了其历史演进的视角,让我能够理解这项技术是如何一步步发展到今天的。书中对不同制造工艺的比较分析,详尽且客观,为我选择合适的工艺提供了重要的参考依据。同时,书中对MEMS器件可靠性和封装技术的探讨,也显示了作者在实际工程应用方面的深刻理解,这对于避免在实际项目中走弯路至关重要。我尤其欣赏书中对于未来研究方向的探讨,那些关于纳米技术、生物传感器与MEMS的结合,以及其在能源、环境监测等领域的潜在应用,都极大地激发了我的思考。这本书的价值,不仅在于其技术内容的详实,更在于其提供了一个高屋建瓴的视角,让我能够更清晰地认识MEMS技术的地位和未来。

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作为一个在MEMS领域摸爬滚打多年的工程师,我见过不少“干瘪”的技术书籍。但《Microelectromechanical Systems》这本书,绝对是其中的一股清流。它最大的特点在于其高度的系统性和前瞻性。作者并没有将MEMS技术碎片化地呈现,而是将其置于一个宏观的体系中进行阐述,从基础的物理原理,到器件的设计、制造、封装,再到系统的集成和应用,构成了一个完整的知识闭环。这种结构化的讲解方式,让我能够更好地把握整个MEMS产业链的脉络。此外,书中对于一些前沿技术,例如微流控、生物MEMS等,也进行了深入的探讨,并结合了最新的研究成果,这对于保持技术敏感度和创新能力至关重要。最令我印象深刻的是,作者在分析问题时,总是能够从多个角度切入,既有宏观的战略思考,也有微观的技术细节,这种全面的视角让我受益匪浅。我毫不夸张地说,《Microelectromechanical Systems》这本书将是我未来工作中不可或缺的参考指南,也是我向同行推荐的首选读物。

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说实话,我一直对MEMS这个概念有点模糊,总觉得它是一个高深莫测的领域。直到我翻开《Microelectromechanical Systems》这本书,才真正领略到它的魅力。作者用一种非常易于理解的方式,将复杂的MEMS技术“翻译”成了我可以接受的语言。我尤其喜欢书中对MEMS器件工作原理的讲解,比如惯性传感器、压力传感器等,作者不仅仅是列出公式,而是通过生动的比喻和形象的插图,让我能够真正理解它们是如何工作的。而且,书中还涉及了MEMS的设计工具和仿真软件,这对于我这样想要开始接触MEMS设计的人来说,非常有帮助。我迫不及待地想要学习如何使用这些工具,并尝试设计自己的MEMS器件。这本书就像一扇窗户,让我看到了MEMS技术在日常生活中的广泛应用,比如智能手机的陀螺仪、汽车的安全气囊传感器等等,这些都让我觉得MEMS技术离我们并不遥远。非常感谢作者写出这样一本既有深度又不失趣味性的好书!

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坦白说,我当初选择这本书,是抱着一种“姑且看看”的心态,因为我之前接触的MEMS资料总是显得过于理论化,缺乏实践指导。然而,《Microelectromechanical Systems》这本书却彻底颠覆了我的认知。它不仅仅是一本技术手册,更像是一位经验丰富的导师,用平实的语言,生动地引导你走进MEMS的奇妙世界。我特别喜欢书中关于传感器设计和制造工艺的部分,作者详细阐述了各种材料的选择、加工方法的优缺点,以及如何根据具体需求进行优化。那些具体的实验步骤和参数设置,对于我这样希望动手实践的人来说,简直是无价之宝。而且,书中还提供了大量的参考文献,方便我进一步查阅和学习。更让我惊喜的是,作者并没有止步于已有的技术,而是大胆地展望了MEMS技术的未来发展趋势,比如与人工智能、物联网的融合,这让我对未来的研究方向有了更清晰的规划。总而言之,《Microelectromechanical Systems》是一本兼具理论深度和实践价值的优秀著作,绝对值得你花时间去深入品读。

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这本书实在是太令人惊叹了!我一直对微电子机械系统(MEMS)这个领域非常感兴趣,也读过一些相关的资料,但《Microelectromechanical Systems》这本书给我带来了完全不一样的体验。从封面设计到排版,再到内容的深度和广度,无不展现出作者的匠心独运。书中的插图和图表绘制得非常精美,细节之处都处理得恰到好处,让我能够直观地理解那些复杂的技术原理。更让我印象深刻的是,作者在讲解每一个概念时,都能够从最基础的部分开始,循序渐进地深入,即使是对于MEMS领域的新手,也不会感到晦涩难懂。而且,书中还穿插了大量的实际案例分析,这些案例的选取都非常有代表性,涵盖了MEMS在各个领域的最新应用,例如医疗、汽车、航空航天等等,让我看到了MEMS技术未来的巨大潜力。读完这本书,我感觉自己对MEMS的理解已经上升到了一个新的高度,迫不及待地想要将这些知识应用到自己的研究中去。这本书绝对是MEMS领域的一部必读之作,强烈推荐给所有对此领域感兴趣的读者!

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