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集成电路工艺和器件的计算机模拟

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2017-2018年中国集成电路产业发展蓝皮书/中国工业和信息化发展系列蓝皮书

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硅集成电路工艺基础

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集成电路制造工艺与工程应用

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集成电路制造工艺

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集成电路制造工艺

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纳米集成电路制造工艺

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